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　　藍膜作為晶圓切割和背面研磨的保護膠帶，具有很多優(yōu)點：高度潔凈，有效減少振動及應(yīng)力，降低晶圓被破壞的可能性，撕后無殘留等等。
　　使用方法：將藍膜崩在擴晶環(huán)上，然后將晶圓背面完整得貼合在藍膜上，需要做到無氣泡。目前可以采用手工貼片，也可以使用自動貼膜機貼片。然后將貼好的晶圓進行后續(xù)的切割工藝，切割結(jié)束后，可用鑷子將劃好的芯片從藍膜上取下，不會有殘膠。也可以用自動撕膜機取下藍膜。